电子重生

周硕正色说道：“当然不，没有赵院长以及无数科研工作者的努力，我什么也做不到。正是因为你们之前卓越的工作，我今天才有这个底气。实现技术的飞跃。赵院长你从心底里，难道没有一丝一毫希望我的目标实现吗？”
周硕内心里，也是真的对这些老一辈的科研工作者怀着崇高的致意。没有中科院领导攻关的o.8微米技术，他掌握再高端、再巧妙的技术也是巧妇难为无米之炊。而目前这套o.8微米工艺光刻机的光电系统，肯定是离不开光电所的努力。
赵院长愣了一愣，顿时哑口无言起来。不管怎么说。周硕还是一个中国人，泛翰研究院是中国的科研机构。面对光刻机、不，应该是整个半导体领域里，中国和国际上巨大的差距，他心底又怎么能够没有奢望过周硕说的是真话？
只不过他的理智、经验和感情。都站在了反对一方。以至于根本没有时间、也下意识的回避去考虑，如果周硕说的是真的呢？
其实他。做梦都想相信周硕说的是真的啊！只不过这怎么可能？从大.跃.进和嗡嗡嗡一路走过来的赵院长，直觉上根本不相信这个可能。
周硕见他沉默不语，微微一笑伸手向前道：“究竟能不能，还请赵院长和诸位领导，自己用眼睛去证实吧。”
赵院长看着满脸自信的周硕，脚步不自觉的就跟在他的后面，向蜂巢里走了进去。
因为蜂巢在设计的时候，并没有考虑到会有这么多人进入。内部停车场只能提供有限的停车位，众人也就只好用11路走的进去了。
好在隧道不长、又是下坡，走起来不那么费力。对技术宅出身的院所领导们，倒也不是什么太大的负担。为了迎接这些人的到来，周硕还特意从其他实验室调来了一批无尘服。这些中小科研院所的领导，平常进实验室带个口罩穿个防护服都已经很不错了。还真是极少见到条件达到1k级别的无尘室，对自带呼吸机的无尘服啧啧赞叹不已。
足足六七十人穿好无尘服，看起来倒是颇为壮观。如果忘了这里是1995年的蜂巢实验室，周硕几乎以为自己回到了2o14年的某个重点实验室。
以蜂巢的硬件水平，若非是私人投资，评个国家重点实验室是毫无问题的。
通过繁琐的除尘通道，花了不少时间才让一众人等都进入了蜂巢实验室。本来不大的地下试验室，这下立刻显得拥挤了起来。
“赵院长！您……怎么在这里？”麻友公看到带头的人愣了愣，下意识的喊了一声。
作为o.5微米工艺光刻机光源和照准系统的负责人，麻友公是丝毫不知道外面因为他已经闹到了什么程度。周硕自然也不可能给这些人以额外的压力，毕竟即使有详细的试验设计规划，想要在一个月时间里完成沉浸式光刻机的改造，也是非常困难的事情。
不光是麻友公，十四个蜂巢实验室研究员，全员都已经一个月没有回家了。虽然有保密的需要，但实验进度压力大，也是重要的因素之一。
周硕甚至专门为他们的家里加急安装了电话，有孩子和老人的，安排专人对其家人进行生活上的照顾。早上送早餐、晚上送蔬菜鱼肉，孩子上学也有车接车送。当然只有老婆的，虽然不怎么方便也派人去照顾，但每天下班专车接送过来相聚一段时间还是没有问题的。
相对于他们节省时间创造的价值来说，周硕这点付出简直微不足道。但对于这些研究员来说，却已经是暖到心窝里的待遇了。
赵院长见到麻友公，立时便吹胡子瞪眼道：“你还认我这个院子啊？所里培养你二十年，你就这么回报我和所里的？你有没有点良心？”
“院长，我……”麻友公羞愧的低下了头，叹道：“我也是没有办法，我老婆工厂待岗，一个月只开一百八十三块五。可是孩子正在上高中，眼看还要考大学。我父母今年六十多岁，身体也不好了。可工厂改制卖给了个人，退休金都不知道找谁去要。我在所里呆了二十年，却只评了一个助研，一个月八百块钱死工资。”
麻友公一米八的大块头，说着说着却哭了起来：“院长，我对不起您，对不起您的培养啊！可我，我也有家有老，要过日子……”
麻友公这一番话，说的赵院长竟是无言以对。他摇了摇头，落寞的说道：“国家现在经济上困难，咱们科研工作者难道不能克服一下？以前是所里对不住你，你回来吧。只要回来，立刻给你升职称！只有光电所，才是你能一展所长的地方啊。这什么泛翰研究院，就是一私人企业的草台班子，你这一身学问不觉得委屈了？”
这也是赵院长唯一能拿出来的东西了，即使只是升职称，对他来说也是按下了所里多少葫芦瓢，才拿出来的一点实惠。别看他堂堂光电所的一把手，却既无人事权也无财权。不然麻友公作为他看中的关门弟子，又怎么会在助研的位置上蹉跎这么多年？这次也是硬顶着所里的舆论，扬了一把手的野蛮作风，又许出去多少空头支票，才得到了这样的条件。
“院长，您错了！”麻友公固执的摇了摇头说道：“泛翰研究院也是中国人的科研机构，在这里我不仅不觉得委屈，反而比在光电所充实多了。这里我不需要担心和领导的人际关系，不用担心吃喝住用行，更不用担心没有科研项目！”
麻友公双眼明亮的看着赵院长，狂热的说道：“院长您一定不相信，泛翰研究院在这一个月时间里，究竟取得了什么样的成就！”
赵院长“哦”了一声，心中隐隐有种预感问道：“这里一个私人研究机构，难道还能出什么大成果？”
麻友公有些手舞足蹈的叫道：“当然有，这绝对会是改变世界的一项技术！”
他指着实验室正中的一套光刻机说道：“我们实现了光刻机o.8微米工艺向o.5微米的突破！”
“这不可能！”赵院长一脸震惊的看着麻友公，嘴里虽然说着不可能，身体却很诚实的跑了过去。
作为麻友公的老领导，他太了解自己这个手下了。麻友公能够入他的法眼，一个最重要的原因就是他的踏实。谁说泛翰研究院实现了工艺技术突破，赵院长都可能不相信。但这句话从麻友公嘴里说出来，他却已经先天就信了一大半。





电子重生 第二百七十五章 检验
中科院微电子中心出产的0.8微米工艺光刻机，其光源和光电成像照准系统都是光电所的杰作。 作为光电所的一把手，赵院长对光刻机也算是大半个行家了。
只一眼，他就认出了这套光刻机的出身。1995年上半年微电子中心，才完成了0.8微米工艺光刻机的研发。产量在那里明摆着，一共也没有生产出多少来。没办法，中科院当幕后老板，国内最有可能向这方面发展的梦幻集团，都放弃了走技术路线。除非国家上马集成电路的大工程，否则根本没有哪个单位吃饱了撑的，会去采购国产光刻机。
国产光刻机的市场占有率，不光是九十年代，哪怕到了二十一世纪也是个悲剧。魔都微电子号称2009年就实现了90nm光刻机的国产，但是后来国内晶圆厂宁愿买国外进口的二手线，也不要他的国产货。
在光刻机上面，为何神奇的兔子能造就白菜定律，却偏偏不起作用了？这一点也不奇怪，因为一是核心设备没掌握，尼康卡你的脖子。二是光刻机的良品率上不去，产品便宜的再多架不住生产成本高。
当然，魔都微电子不管怎么说，总还是做了一些成绩的。周硕虽然心里惋惜，但也明白国产光刻机不行，不是它一家的问题。
总之这年头中科院微电子中心能卖出去的光刻机可谓是凤毛麟角，而其中的光电设备只一眼赵院长就看出来确实是出自自家之手。
不管研究成果如何，这起码说明周硕确实在实打实投入的研究技术。赵院长看向自家产品的眼神，自然也就温柔了许多。
“这套设备说起来，还是我在光电所的时候亲手制作的。”麻友公站在赵院长的身边，感慨的说道：“院子。不论泛翰研究院的水平如何，起码他们确实是在踏踏实实的做技术。就这一点上来说，也不应该对他们太过苛求了。”
“哼，你现在是人家的工人了。当然替东家说话。”赵院长有些傲娇的哼哼着。眼睛却在光刻机上怎么也挪不开。
他收敛了一下脾气，好奇的问道：“这就是你们改进的0.5微米工艺光刻机？究竟做了哪些改进？”
“我们改进了……”麻友公开了个头。突然停顿了一下，无奈的摇头道：“我和研究所签了保密协议的，具体技术不能说。”
“德行。”赵院长撇了麻友公一眼，看的他浑身不自在。没办法。他这一身本身可以说，多半都是来自赵院长的传授。如今老师问他这点问题，自己却表现的好像什么重大机密似的，难免有些心虚。
赵院长却没有多做计较，只是在光刻机前前后后的打着转，就不信自己的眼力还看不出来有什么不同。
其实虽然麻友公这多少算是叛出师门，但赵院长心底里却并不怎么怨他的。一是光电所这些年来。确实有些对不起麻友公。二一个，心里多少也希望自己的徒弟能有一个好的归宿吧。
从这方面来说，他其实也理解麻友公保密的做法。假使改进技术真的有效，这里面涉及到的可是数以亿计的金钱。泛翰研究院是私人公司。当然不可能让人敞开了看。
就在这时，光刻机前的指示灯突然从红色转换成了绿色，并且发出了一道短促的“哔——”声。
一张直径的晶圆盘片，从光刻机里被机械臂稳稳的送了出来。
“这是！”赵院长哪里会不知道这是怎么回事，光刻机里吐出来的晶圆表面上看并没有什么不同，但他知道这已经是经过了光刻的盘片。
此时这张盘片上面的光刻胶，应该已经被蒸发了一部分。只要再把这张盘片送入蚀刻机，就可以根据光刻的路径蚀刻出集成电路。
在场的所有人，除了保安部的安保人员以外，几乎个个都和光刻机系统扯得上关系。自然也就都明白，泛翰研究院是否已经掌握了0.5微米工艺，答案就在这一刻了。
“诸位，我们泛翰研究院究竟有没有掌握0.5微米工艺技术，大家此时此刻可以拭目以待了！这张单晶硅晶圆是我们改造之后的第一次光刻，我请你们记住1995年10月7日这个光荣的日子……”
周硕几乎是虔诚的，把晶圆从光刻机转移到蚀刻机上面，并且毫不迟疑的启动了蚀刻程序。
只是此时此刻，似乎所有人都已经忘记了他们的初衷。只是全神贯注的看着那薄薄的单晶硅晶圆，心中却已经有些相信泛翰研究院已经实现了0.5微米工艺。
问题很简单，若非是有十足把握，周硕又怎么有这个勇气，在众人面前完成蚀刻程序？甚至有的人心里已经打起了小算盘，按照国内的传统，说不定是已经有了成功经验之后，才玩的这个出炉把戏吧。
不管如何，周硕胸有成竹的模样，都让他们的态度在不自觉间发生了变化。
和光刻程序比起来，蚀刻的速度就快多了。几分钟之后，酸液已经把没有光刻胶覆盖的地方，腐蚀出了只有零点零几微米的微痕。微小到不论是人的肉眼、或者是普通的放大镜都无法发觉的地步。
当然，以蜂巢实验室里面的设备，有大把大把的方法可以对其进行观察和测量。
至少在1995年的集成电路制造水平，0.5微米的线宽，一部光学显微镜就已经足够、足够。
赵院长看了自己得意弟子麻友公一眼，微微叹了口气。他站出来，自报奋勇道：“周先生，我来对这张晶圆进行测量，没有问题吧？”
周硕呵呵笑着，将晶圆郑重的交到赵院长手里，点头说道：“能够有赵院长亲手测量，这是泛翰研究院的荣幸。我想在场的诸位，没有第二个人比赵院长更有公信力了。”
赵院长小心的将晶圆接了过来，摇头道：“谁知道你是不是事先放了从其他地方得到的晶圆进去？要按照我的说法，你至少应该在我们所有人的面前，再放一张晶圆进去。”
他顿了一顿，嗤之以鼻道：“前些年社会上还流行过水变油的闹剧，搞起这种夸张的科学技术来，向来是魔术师比科学家有本事。”
周硕似笑非笑的看着赵院长，摇头说道：“这张晶圆是不是我们泛翰研究院生产的，赵院长一看便知。”
赵院长不置可否，他呛上这两句语气说是质疑，不如说是在表明立场。毕竟这个技术是有麻友公参与的，对自己亲手培养出来的弟子他还是有信心的。麻友公的学术道德如何，他心里清楚。即使生活再怎么艰难，但学术造假肯定不会落到他的头上。
赵院长四下找了一圈，很容易就发现了一台光学显微镜。这是一台高倍的显微镜，最大观测分辨率可以达到0.1微米水平。用来观测0.5微米线宽的集成电路，可以说是轻而易举。
他熟练的操作着实验仪器，很快就做好了准备工作。赵院长向显微镜里看过去，却不想竟然惊讶的喊了出来！
“啊！”赵院长竟然从实验台前倒退了半步，那样子就如同见到了鬼一般。
赵院长很快就意识到了自己的失态，却来得及没有对众人做出丝毫说明，便又急匆匆的一头扑向了显微镜。
足足过了十多分钟，他才从显微镜前抬起头来，喃喃自语道：“竟然是真的，竟然是真的……”
“赵老，什么真的、假的？你看到了什么？”赵院长身边，一个焦急的领导抓着他的衣服就问道。
“确实是0.5微米线宽！”赵院长有些苦涩，却又有些自豪的说道。
是的，他虽然输了打赌，但仍然足以自豪。因为这是中国人创造的奇迹，是他的得意弟子参与创造的奇迹。作为一个把一生已经奉献给共和国科学事业的老科学家，他虽输犹荣。
“那也不能说明什么吧，说不定是他们搞了鬼呢。赵老，一个月时间把光刻机技术提高一代，这种放卫星的说法你也信？肯定是有什么障眼法，您可得擦亮眼睛啊！”
“去！自己去看！”赵院长挺直了腰板，指向显微镜说道：“中国人，我们中国人一向是善于创造奇迹的民族啊！”
身边这人带着明显怀疑的神色，站在显微镜前看了一眼，顿时也“啊”的一声，倒退了一大步！
“怎么回事？怎么回事？”
众人心头一阵疑惑，赵院长一个人震惊也就算了，后面这人在有了心理准备的情况下，怎么还表现的这么不堪？
“真的！是真的！”这人看完之后，竟然也有些失魂落魄似的，念念有词。
“咋回事究竟？我也看看！”
“啊！”
“哎，快让我看看！”
“哎呀！真的！”
后面几乎每一个人，在看到显微镜下图案的时候，都不由自主的一付惊讶的表情。
周硕呵呵笑着制止了后面人的鼓噪，通过设备将显微镜观测到的图案，直接显示在了实验室的投影幕布上面。
只见这张晶圆上面蚀刻的图案，竟然就是今天一早赵院长从面包车上跳下来的画面！还有什么，比这个画面更有说服力的吗！




电子重生 第二百七十六章 技术鉴定
“好了，不要送了！”赵院长虽然输掉了打赌，此刻却偏偏红光满面。
他伸手止住了还想要再送一程的麻友公，欣慰的说道：“看到你能继续你的科研道路，我就放心了。不论是光电所、还是泛翰研究院，只要你没有扔下这一身的本事，我想不论到哪里，你都会有一块立足之地。”
“院长！”麻友公的眼眶有些湿润，这个四十多岁的男人，这一刻却有些抑制不住自己的眼泪了。
“对不起，我辜负了您的培养。”麻友公轻轻的擦了擦眼角，却发现湿痕竟然越擦越多。
“不要这么说，只要你还在为中国的科研事业奋斗，就没有辜负我培养你的一片苦心。”赵院长拍了拍他的肩膀，笑着说道：“不管是私企的研究机构、还是国家研究院所，只要是真正实实在在的做研究，哪里都是男子汉实现抱负的舞台啊！”
赵院长正色道：“四十多岁的人了，不要这么婆婆妈妈！真要觉得对不起我，等国家情况好转了，记得回来光电所看看就是了！”
“是！”麻友公打了一个立正，挺直了腰板喊道。
在他们两人身边，还有好多类似的告别在发生。科学界是最现实的，能不能出成果是这里唯一的衡量标准。出身再高贵，不能出成果的国家重点实验室一样要被人瞧不起。出成果、出大成果的地方哪怕只是个中学实验室，也要被人封为圣地。过上几十上百年，还要有人不远万里来怀念。
泛翰研究院不论它是何出身，只凭借能在一个月时间里就完成0.5微米工艺光刻机的技术改进，它的牌子就已经是响当当的了。
这样的研究院，任何人都要拿出一份尊重来。
周硕满面笑容的走过来，他这一步迈出去，从此就要奠定在半导体行业里的权威地位了。若非他走的是资本家路线，如果在体制内达成这样的成就。十年后说不定科学院院长的位置都可以竞争一下。
赵院长看到周硕走过来，哈哈大笑道：“人说朝闻道夕死可矣，我看到中国的科学界里有周先生这样的后起之秀，今天晚上就是立刻便死。也可以安心的走了。”
“您可别有这样的想法！”周硕诚惶诚恐道：“赵老您为国家奋斗了一辈子，总还要再享一享受我们这些年轻人缔造的清福吧？”
“哦，也对！”赵院长竟然装作认真的思考了一下，这才点头同意道：“我还要再活个三、五十年，看看你们这一代人能够创造出什么样的世界来！”
周硕猛点头，得意的说道：“说不定您还能看到，中国成为美国大债主的时候呢。美国人把士兵派往全世界，我们就把工人派往全世界。到时候所有的国家都使用中国产品，都要看着我们的眼色才行。”
赵院长老怀畅慰道：“哈哈哈哈，如果真有那一天。我一定要努力活到才行！”
“您放心吧，不会太远的。”这句话，在场的却只有周硕一个人相信。
泛翰帝都研究所在一个月时间里，竟然完成了0.8微米工艺向0.5微米工艺光刻机技术的改进。这一颇具传奇色彩的消息，在一众科研院所领导的亲自传播下。迅速的引起了一阵狂潮。
半导体领域里的众多科学家，纷纷表示不相信。尤其是微电子中心参加0.8微米集成电路生产线开发的项目组，简直觉得这是对自己以及自己的劳动，赤裸裸的侮辱！
尼玛不带这么埋汰人的，我们花了三年时间才开发出来的技术，你们一个月就能完成难度更高的技术升级？
呸！要是有人敢站我跟前这么说，信不信老娘吐你一脸？当然。大多数科研工作者素质是很高的，她们表达的方式可能会委婉一些，但中心思想是不会变的。对真正亲身经历过光刻机研发的人来说，只有他们才能明白这里面蕴藏着多少的心血。想要再提升一点点的性能，需要付出多少的代价。
也不怪这些人不相信，实在是九十年代的科学界。已经着实经历了不少次类似事件。比如说水变油、永动机或者助燃素之类的发明，哪个开始的时候不是全民惊诧，续而狂热发展，最后发现竟然是一场闹剧？
泛翰研究院的私企性质和神话一样的一个月完成研发，都让它饱受争议和攻击。当然。从另一个角度来说，这也让泛翰研究院和0.5微米工艺光刻机的名字被广为传播。
学界的保守势力始终是强大的，哪怕是光电所的赵院长站出来，为泛翰研究院作证，也只被人认为是老糊涂了而已。哪怕是那么多的科研院所领导，异口同声的表达自己对泛翰研究院0.5微米工艺光刻机的支持，却也抵不过真正专业人士的质疑。
说到底，在体制内他们这些食物链中下层的院所，话语权终究还是显得单薄了些。
为自己正名这个难题，摆在了周硕的面前。0.5微米工艺想要获得学界的认可，就必须通过科委的验收。这方面对于他来说，倒是个不大不小的难题。
中国的技术转化率一项是个问题，各大科研院所搞出个技术，通过鉴定之后就束之高阁是普遍现象。但泛翰研究院的光刻机，却注定是要投入商业生产的。而通过科委验收，首先就得公布技术细节。但是这些验收专家，是否可靠？
光刻机技术泄露对国内来说问题倒是不大，反正根本在这个领域连竞争者也没有。但日本、美国和荷兰以及德国，对这项技术都不会不感兴趣。在这些资本主义国家的金弹银弹拉拢腐蚀之下，哪有值得信任的人？
周硕不想把自己的命运，放在别人的手心里。指望他人恪尽职守来保证自己的利益，还不如一开始就不要给人恪尽职守的机会。
可是越不进行技术认证，质疑的声音就会越大。泛翰集团确实需要知名度，但美誉度却也不能不在乎。
周硕必须找到一个不用公开技术细节，就能证明自己的办法。幸好这个时候，丰田长男终于从日本带回来了好消息。
“周桑，听说你的研究机构，完成了0.5微米光刻机的研究，这真是很了不起的成就！”
丰田长男原本倒是不太了解光刻机是个什么东西，但这次跟他一起来的东芝负责人却对此门清。东芝作为日本半导体行业的一艘航空母舰，从单晶硅提炼到最终的消费电子产品，全部都有经营业务。光刻机这么重要的设备，又怎么会不了解。
在东芝技术专员中村晴树的讲解下，丰田长男这才很快领悟了这是多么重要的技术突破。心里对周硕的重要程度，顿时就又提高了一个台阶。