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重生之大学霸

时间:2023-05-24  来源:  作者:鹿林好汉
93年底,丁大钊、方守贤、冼鼎昌三位院士向中央建议在国内建设一台第三代同步辐射光源,这些老一辈的科学家自然有着远见卓识。
建造这样一座大科学装置,预算大约要12亿元。当时金山市一年的研发投入不过30多亿元,就在三位院士的提议后金山市方面也是表态:金山市愿意出资三分之一,第三代光源就落户金山市。
95年初,国内数名著名科学家发起“在金山市建造第三代同步辐射光源”的提案,当年4月,中科院与金山市市签订合作协议,由中科院在金山市原子核所负责落实这套光源的建造任务。
97年6月,国家科技小组批准了“金山市光源”的预制研究,在中科院高能物理所率领下,到2001年3月,几乎所有主要关键技术全部攻克,并组建起了一支百余人的技术团队。
不过金山市的这座光源设却是因为金山市方面资金不到位迟迟不能动工建设。
中科院也是为了稳定队伍,也是让金山市的这个研究所承担了华兴集团公司光刻机光源的研发和一些大型仪器设备的研发,也算是让这个技术团队继续这方面的研究,同时技术团队人员数量也是增加了不少。
02年下班的时候杨杰也是动了建设一座大型同步辐射光源实验室的念头,原本是想建在潭州市的,燕京市方面的领导也是找到了他,希望这个大型实验室建设在燕京市。
中央方面也是觉得中原省方面的高科技产业太多了,国内最顶尖的人才都往中原省这边聚集,那让国内其他的省份怎么发展?
为这事过国家科技小组也是跟杨杰谈过,也是希望如此重大的科学装置还是落户到燕京为好。
燕京市方面也是希望通过这个大型的实验室来打造一个科学和创新园,建设一个比约翰牛哈威尔科学园区还要大的高科技园区。
90年初,随着卢瑟福·阿普尔顿实验室的突破性科研成绩,哈威尔逐渐成为一个蓬勃发展的科研、工业和商务中心,一个用户和众多科研设施高度集中的地区。
那里占地300公顷,共聚集了100多个组织的4500多名工作人员。其中包括卢瑟福·阿普尔顿实验室的世界最大的脉冲散裂中子源isis、空间科学与技术研究装置、气象雷达观测站,以及医学研究委员会等。
现在约翰牛的第三代同步辐射光源大型实验室也是也是在哈威尔地区建设,该区逐渐形成了有利于发挥最大科学优势和效益的布局。
燕京市的市委书记也是去过好几次这个科技重镇,也是希望燕京市能够有几座大型的实验室,让燕京市成为科技重镇。
随着潭州市的河西走廊高科技园区的发力,七八年间就成为国内最大的科技重镇,催生出了半导体、通信、新能源等一大批高科技产业出来,直接让华兴集团公成为了一个享誉全球的国际高科技巨头公司,同时也诞生了一大批的高科技公司。
相比较而言,国内这些借着搞科技园区来圈地搞房地产开发的所谓高科技园区之前是口号喊得比谁都响,到现在跟河西科技走廊这个真正高科技科技园比起来那真的是相隔十万八千里。
华兴集团公司这十多年间靠着聚敛过来的巨额财富不断的投入研发,像是一只在国内成长为巨鲸一般的庞然大物,贪婪地将国内外的人才聚拢起来为公司的产品技术服务,而且在很多领域都是完成了布局。
虽然说国内的市场像是一个巨大的池子,但是规模也是有限的,像鹰酱如此高度发达的经济体能够容纳下十几家高科技巨头公司,华兴集团公司成长太快,而且管理制度和商业模式也是非常成功,以一种风卷残云的气势牢牢地占据了国内的市场,并且在海外攻城略地。
到现在国内高科技产业方面没有再有一家体量如此巨大的公司可以跟华兴集团公司来抗衡,就算是华泰、中兴这些公司都是跟华兴集团公司有着深度的合作,而且因为华兴集团公司吞噬掉了大部分的资源,所以国内很多科技公司发展也就变慢了。
同时华兴集团公司也是养活了国内非常多的公司,国内有数千家的公司都跟华兴集团公司有不同的合作,可以说华兴集团公司代表着国内很多顶尖技术。
国内很多省份都是希望能够从华兴集团公司拉过去一些项目来增加政绩,但是现在华兴集团公司主要的精力在欧洲这些老牌国家和大毛这些国家建立研发中心拉吸纳最顶尖的人才和技术专利,在国内主要是和高校和研究机构进行合作,也没有在全国建立生产基地的打算。
华兴集团公司向来都是保持小规模的生产能力,大部分的订单都是交给福耀集团和另外几家zhuān yè dài工的公司来完成。
再加上国内的官员都是追求“短平快”项目来带动当地的经济,建立生产工厂才是最感兴趣的,福耀集团公司这些年倒是在内地省份建立了几个生产基地。
不过燕京市的这位市委书记在得知杨杰要建立大型的第三代同步辐射光源实验室,也是找到了杨杰说了好几次,杨杰也是被这位书记的心意给打动了,所以也是同意将这个实验室项目落户在燕京市。
在视察这个圆环主体建筑里面光源设施这些精密复杂的不同系统,中科院的方面的方守贤院士也是向杨杰介绍着这些研制不同系统的带头人。
“这位是负责储存环分总体的研制任务的戴志波,这位是负责研发光束线的负责余笑寒……”
负责研发这套光源设施的技术团队有五百多人,耗资十多亿,耗时52个月工期,建成了可以媲美鹰酱国内劳伦斯伯克利国家实验室那套第三代同步辐射光源的大型实验室。





重生之大学霸 855章 集大成之作!
这个大型实验室的很多都是子系统部件都是国内之前没有制造过的,不过华兴集团旗下的机床研究院和仪器设备公司也是承担了很多关键部件的制造,其中就包括了性能国际一流的真空插入件、6套大尺寸高精度镜面压弯机构、不锈钢超高真空室、真空室内波荡器、变包含角平面光栅单色器等等,展现了华兴集团公司惊人的机械加工工艺。
当然也不是所有的部件全部需要国内生产,一些成熟的部件也是从国外的仪器设备厂商进行了采购。
约翰牛的第三代同步辐射光源其实从上个世纪93年,沃尔夫森教授就向官府写报告中阐述了建造第三代同步辐射光源的必要性和重要性,这个项目也是在那个时候开始启动,项目代号为“金刚石”。
不过这个项目的建设地点有一场激烈的讨论,究竟是建在srs所在地——柴郡的达斯伯里,还是建在南牛津郡的迪德科特内部一直争吵不休。
当时高卢鸡也对共同建造这一项目有着浓厚的兴趣,直至2000年才决定在巴黎近郊独立建造soleil光源后,约翰牛才最终决定将这个金刚石光源设施定址在迪德科特。
虽然这两个光源设施确定下来,但是建设的速度却实在慢的很,华兴集团公司建设的这个光源设施是02年下半年开始动工的,耗时38个月后第一期工程已经建成了,那两个光源设施还在建设呢。
这个大型实验室现在有神光光源合资有限公司来进行经营管理,华兴集团公司是大股东,中科院和燕京市直属的企业也是分别入股。
现在实验室这边已经建设了7条线站,包括极端条件线站、材料和磁力学线站、3条分子晶体学线站、纳米科学线站等,其中两条专门用于生命科学和医药研究。
现在华兴集团公司的技术团队已经开始利用这些线站进行了实际的实验来对这套光源设施进行技术验证测试。
这个过程还需要打扮的时间,等到验证测试完成,那么这个大型实验室就可以正式地投入营运了。
虽然说就在几天前这套光源设施成功获得第一束同步辐射光,现在还需要进行各种测试,检验这套设施能否长时间稳定地运行。
华兴集团公司自然是近水楼台先得月,很多的实验项目现在直接就开始上了。
这个实验室的第二期建设预算去年就已经确定了,神光光源有限公司将再投入二十多亿的资金建设总共60条线站,建设时间为五年,每年要建设至少十条以上线站。
这个大型实验室当初设计目标是有效运行时间每年为5000小时,预期运行30年或更长一些时间,每年接待约3000多名客户。
其实在这个大型实验室第一期建设还未完工的时候国内就有众多的科研机构找上门递交申请,都是希望第一个能够利用这个大型实验室进行试验,很多专家教授都是天天盼着这套光源设施能够正式开放。
杨杰深知中央现在对研发投入也是越来越重视,国内众多的公司对第三代同步辐射光源大型实验设施的需求自然是越来越大,现在国内很多的公司都是排着队要去国外的实验室做实验获取数据。
他对于这个光源设施投入使用后找不到客户的情况并不担心,随着国内公司企业对研发的重视,以后这个设施只会是供不应求,还不一定能够满足国内研发的需要。
杨杰随后也是视察了光束线站这个光束线站主要是由4个主要部分组成,其中包括从储存环出口处引出光束的前端部分,中间有一个棚屋,一定波长的光在这里被选择、聚焦,为了达到这些目的,也是配备了单色器、反射镜、狭缝、滤波器和透镜组等各种光学部件。
这些光学器件大部是由华兴集团公司旗下的三阳光学公司研制的,因为这些光束可是极紫外光,光线的能量、破坏性极高,而且极紫外光的波长为最小为10纳米,这种光容易被包括镜头玻璃内的材料吸收,所以需要使用反射镜来代替透,普通打磨镜面的反射率还不够高,必须使用布拉格反射器这种复式镜面设计,可以将多层的反射集中成单一反射,而且必须研制出不会吸收被极紫外光源的镀膜。
不仅如此,生产的反射镜要做到史无前例的完美无瑕,瑕疵大小仅能以皮米来计算!
为了这个三阳光学公司那是真的下了血本的,想了非常多的办法才今年上半年才做了出来,公司那真是把吃奶得劲都使出来了。
因为气体也会吸收深紫外光并影响折射率,所以线站的线路腔体内必须采用高度真空系统。
这套光源设施所有零件、材料,样样挑战人类工艺的极限,华兴集团公司和众多的科研机构都是将所有的技术都拿出来了,总算是将这些极度精密复杂的仪器设备给制造了出来。
在线站实验室里面,杨杰也还是注意到实验室配备了远程调节器、探测器等各种实验仪器,用于观察样品。
探测器是华兴集团公司和航天集团公司一起合作开发的紫外光照相机,照相机里面的器件使用的是用氮化镓材料研制成功的紫外光传感器,风云系列卫星上的就使用了这套照相机。
因为用氮化镓材料制备出来的光电传感器对紫外光十分敏感,可以说这套照相机的的分辨率是现阶段来说分辨率是最高的。
神光光源有限公司的光源同步辐射技术主要分为三个类别,分别是衍射、光谱和成像,不同的光束线站实验室可以开展不同类型的实验,具有不同的实验性能。
光通过光束线被引到各个实验站提供给实验者。多个学科的科学家可开展从寻找新物质、新医药以及进行解决各类环境问题的研究。
在设计之初,设计团队就考虑到了客户不同的需要,在实验室里面也是配备了大型衍射仪、双晶单色仪等仪器设备,客户只需要带着样品过来进行实验就可以了。




重生之大学霸 856章 极紫外光光刻胶!
在监控室里面,屏幕上上显示着这套光源设施的运行状态参数,也可以看到用户控制室里面的一些技术人员正在用户从正在控制着设备,同时收集并分析实验数据。
杨杰见到现在控制七个线站实验室的用户控制室此时都是不同的技术团队在做着实验,他笑了笑,随后说道:“走,去用户控制室那边去看看。”
当他来到生物大分子晶体光束线站的这个用户控制室里面的时候,此时控制室里面的数人听到动静都是齐刷刷地看过来。
为首的这位五十来岁的男人看到杨杰在众人的簇拥下走进来,眼中顿时闪过喜色,连忙笑着迎上前。
“杨少,您怎么过来了?”
“呵呵,我听说滕教授也是在这里,也是特意过来看看听听您对我们的这套光源设施有什么建议。”
杨杰笑着跟眼前的这个滕教授握手道。
眼前的这个腾教授是中华科技大学研究病毒蛋白质结构的滕永坤,之前他天天盼着这座神光光源大型实验室正式开放。
因为他跟华兴集团公司旗下的生物制药公司有合作,这次听说神光光源公司的大型实验室试运行,也是托关系得到了参与试运行的机会,提前带着技术团队赶到这边做实验。
“杨少,我对神光光源有限公司的在生物大分子晶体光束线站的实验设备是非常满意的,今天我们只花了半个小时就解析出一个新的蛋白结构,得到了一套非常漂亮的数据。”
腾永坤教授眼中放光地说道,随即他也是向杨杰展示了今天他得到的数据,试验站的设备仪器通过不同角度的光源照射和拍照,控制室里面的高性能计算机通过软件计算可以得到生物大分子的三维结构的图像。
有了这些图像,可以揭示分子结构和功能的关系,腾教授通过对病毒外壳蛋白三维结构的详细了解,有助于发明可以阻断病原对细胞感染或抑制其致病功能的药物。
有了这样的利器,可以更加详细地了解癌细胞、艾滋病病毒的机理,这对研制出抗癌和治疗艾滋病的药物有着巨大的帮助作用。
这个也是杨杰为什么特意让现在七条线站专门留两天线站来专门用于生命科学和医药研究的原因。
杨杰跟滕教授畅谈了一番,这才来到华兴集团公司旗下半导体材料的子公司的一间控制室。
看到杨杰过来,这些技术人员都是激动地站起身来打招呼。
“杨少……”
“大家都不要这么拘谨,我就是过来了解一下你们的实验进度。”
杨杰笑着说道。
“杨少,也是多亏现在我们自己有了这么一套光源设施来进行实验,不然我们在光刻胶方面的研发进度耽搁的时间就太长了。”
带领技术团队的黄明成博士感慨地说道,他加入华兴集团公司有九年了,一直都是负责光刻机的研发,这次自然也是承担了极紫外光光刻胶的研发任务。
光刻技术随着集成电路集成度的提升而不断发展,为了满足集成电路对密度和集成度水平的更高要求,半导体用光刻胶通过不断缩短曝光波长以提高极限分辨率,世界芯片工艺水平目前已跨入微纳米级别,光刻胶的波长由紫外宽谱逐步提升到了g线、i线、氟化氪、氟化氩、f2,国外现在能够做到的f2光源波长在157纳米,同时业发展出了相应的光刻胶。
半导体材料公司光刻胶技术部门也是从i线光刻胶开始的,通过霓虹国设置在吕宋国的光刻胶工厂得到了工艺资料后杨杰也是找到了黄明超等在做光刻胶的技术人员摸索出了i线光刻胶的配方,之后开始自主研发氟化氪、氟化氩光源的光刻胶。
不过杨杰并没有让f2光源的光刻胶,而是直接让他们研发极紫外光的光刻胶。
通过数年的研发,黄明超等技术团队此时已经研发出了极紫外光的光刻胶,可是因为没有合适的光源来做实验验证,去鹰酱的国家实验室去做实验的话等的时间太长了。
这次神光光源设施试运行,技术团队也是向总部第一个递交了申请,杨杰也是同意了下来。
要想研发极紫外光光刻机有几个关键的子系统要解决,首先就是极紫外光的光源,现在小功率的极紫外光光源还没有研发出来,所以很多实验只能先是来这个大型的实验室来做。
现在神光光源设施开始试运行,也是为小型化的极紫外光光源打下了非常坚实的基础。
因为光刻机的光源功率要求在250w,而神光光源的光束能量比这个不知道要高到哪里去了,所以实验的时候功率都是要通过远程的能量调节器调到需要的光源功率才能进行实验。
在光刻胶方面,要实现大规模量产要求光刻胶的照射反应剂量水平必须不高于20兆焦每平方厘米,不过极紫外光的光刻胶的照射剂量普遍需要达到多少每平方厘米的照射剂量才能得到完美图像必须要经过大量的实验才能确定下来,毕竟光刻胶的配方不同。
这中间由于极紫外光的破坏性太大,照射的时候会产生的一些光子随机效应,这中间就包括了光子发射噪声现象,照射光光子数量的变化会影响光刻胶的性能,因此会产生一些成像缺陷。
而且光刻胶不仅具有纯度要求高、工艺复杂等特征,还需要相应光刻机与之配对调试。
一般情况下,一个芯片在制造过程中需要进行10到50道光刻过程,由于基板不同、分辨率要求不同、蚀刻方式不同等,不同的光刻过程对光刻胶的具体要求也不一样,即使类似的光刻过程,不同的厂商也会有不同的要求。
针对不同应用需求,光刻胶的品种非常多,这些差异主要通过调整光刻胶的配方来实现。
通过调整光刻胶的配方,满足差异化的应用需求,是光刻胶制造商最核心的技术。
半导体材料公司下面的光刻胶技术部门现在差不多有数百名的化学工程师团队,不停地在研制光刻胶的配方,不停地做实验,就是为了满足不同应用需求的光刻胶配方。
可以说黄明超他们研发极紫外光光刻胶的任务那是真的非常繁杂,而牵涉到的部门也是非常多,牵一发动全身,所以华兴集团公司的研发向来都是有不同的技术部门共同参与,并不是单打独斗。




重生之大学霸 857章 牵一发动全身!
杨杰在得知黄明超等人研发的极紫外光光刻机对波长在12纳米的光源十分敏感,心中也是诧异了一下。
在前世的时候,艾斯摩尔公司研制的极紫外光光刻机的波长控制在13.5纳米,这主要是因为光刻胶的原因,这主要是因为光刻胶的配方主要是掌握在住友、tok、陶氏等少数几家公司手里,配方自然是又他们来决定的。
而黄明超他们配方不一样,自然对极紫外光光源不同的波长有着不一样的光化学效应。
之前黄明超他们来做实验主要是用扫描隧道显微镜来观察光刻胶对光源照射剂量反应后的情况,并不能实时地观察到这个反应过程,这样黄明超他们只能是不停靠着试错的方式来调整配方。
现在有了这个神光光源设施后,通过利用光源光束脉冲性质拍摄一系列的快照,这些快照聚集起来,随时间的推移,可以形成一个样品变化的动态图像。
这个就是神光光源设施仪器设备的时间分辨技术,有了这套技术设备可以清楚地观察到光刻胶在光源照射时的各种反应情况,可以让黄明超他们可以更快地分析判断光刻胶具体的性能,从而为配方的调整方向有了非常明确的目标,可以大大地缩短研发时间。
现在因为国内的主要的晶圆厂很大一部分都是使用华兴半导体材料公司的光刻胶产品,光是光刻胶这一个业务也是给半导体材料公司每年都带来巨大的利润,所以也足够支撑公司在这方面的研发。
光刻胶仅为半导体材料公司的子业务,公司还研发高纯度的靶材、薄膜晶体管的薄膜材料、氮化镓材料、晶体硅材料等,总共有数千名的工程师团队。
虽然说半导体材料公司每年光是研发投入就是十多亿美金,不过这个子公司每年的营收也是在上百多亿美金,虽然规模不大,但是真的是非常赚钱,利润率极高。
由于光刻胶等半导体材料技术门槛高,全世界能够供应的也都是那些大型材料商公司,数量极少,杨杰就是靠着自己建立起来的产业链使用自己公司提供的材料很短时间内就让半导体材料公司由无到有,由弱变强,在不降低产品品质的前提下精心地培养半导体材料公司,现在也是成为了能够跟海外那些大型材料商掰手腕的公司。
现在很多海外的客户也是开始选用华兴半导体材料公司的产品来进行生产,海外的客户数也是越来越多。
同时因为用自己公司的材料大量取代了海外公司的材料,也是大幅地降低了自家产品的生产成本,也是让整个公司的产品始终是保持足够的利润空间。
前世的时候国内虽然半导体产业也是看着很繁荣,但是彼此之间都是割裂开来的,很多的半导体材料都是掌握在海外的公司手里,决定着定价权,国内的这些材料国内的晶圆厂很多都是受制于外资,不会用也不敢用国产的材料。
但是现在中晶微、华越电子公司、华晶科技集团公司这三大公司的自主性都是非常高,刚开始的时候主要是用海外的半导体材料,之后逐步地开始用半导体材料公司的材料来代替,这方面都是很同步的。
所以除了华兴半导体材料公司之外,国内也是出现了十多家能够提供可靠国产化半导体材料的公司,半导体材料的国产化程度已经达到了百分之七十多,这些国内的半导体材料公司都是活得比较滋润。
不过在光刻掩膜光罩这个细分领域却是因为市场场集中度高,寡头垄断严重,丰创集团、霓虹国的dpn和社toppan三家占据80%以上的市场份额,不过这个市场规模也不大,现阶段来说只有二十多亿美金的样子,所以半导体材料公司在这方面就没有发力了,而是主要跟着几家公司都是有合作。
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